力敏传感器的误差补偿
作者：匿名 来源：本站原创 发布：2024年6月24日 修改：2024年7月29日 所属分类：新闻中心 访问统计：221
合理进行力敏传感器的误差补偿是其应用的关键。力敏传感器主要有灵敏度误差、偏移量误差、滞后误差和线性误差，以下将介绍这四种误差产生的机理和对测试结果的影响，同时将介绍为提高测量精度的标定方法以及应用实例。
目前市场上力敏传感器种类丰富多样，这使得设计工程师可以选择系统所需的力敏传感器。这些力敏传感器既包括最基本的变换器，也包括更为复杂的带有片上电路的高集成度传感器。由于存在这些差异，设计工程师必须尽可能够补偿力敏传感器的测量误差，这是保证力敏传感器满足设计和应用要求的重要步骤。在某些情况下，补偿还能提高力敏传感器在应用中的整体性能。
1.基本的或未加补偿标定;
2.有标定并进行温度补偿;
3.有标定、补偿和放大。
偏移量、范围标定以及温度补偿均可以通过薄膜电阻网络实现，这种薄膜电阻网络在封装过程中采用激光修正。该力敏传感器通常与微控制器结合使用，而微控制器的嵌入软件本身建立了力敏传感器数学模型。微控制器读取了输出电压后，通过模数转换器的变换，该模型可以将电压量转换为力值测量值。
力敏传感器最简单的数学模型即为传递函数。该模型可在整个标定过程中进行优化，并且模型的成熟度将随标定点的增加而增加。
从计量学的角度看，测量误差具有相当严格的定义：它表示测量力值与实际力值之间的差异。而通常无法直接得到实际力值，但可以通过采用适当的力值标准加以估计，计量人员通常采用那些精度比被测设备高出至少10倍的仪器作为测量标准。
由于未经标定的系统只能使用典型的灵敏度和偏移值将输出电压转换为力值，测得的力值将产生误差。
这种未经标定的初始误差由以下几个部分组成：
1.灵敏度误差：产生误差大小与力值成正比。如果设备的灵敏度高于典型值，灵敏度误差将是力值的递增函数。如果灵敏度低于典型值，那么灵敏度误差将是力值的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
2.偏移量误差：由于在整个力值范围内垂直偏移保持恒定，因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
3.滞后误差：在大多数情形中，滞后误差完全可以忽略不计，因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在力值变化很大的情形中考虑滞后误差。
4.线性误差：这是一个对初始误差影响较小的因素，该误差的产生原因在于硅片的物理非线性，但对于带放大器的力敏传感器，还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线，也可以是凸形曲线。
标定可消除或极大地减小这些误差，而补偿技术通常要求确定系统实际传递函数的参数，而不是简单的使用典型值。电位计、可调电阻以及其他硬件均可在补偿过程中采用，而软件则能更灵活地实现这种误差补偿工作。
